锗烷（四氢化锗 GeH₄）SDS

CAS：7782-65-2｜UN2192｜分子式 GeH₄｜分子量 76.62

电子特气，极高风险气体，重点警示：剧毒、易燃，部分工况可自燃

1 基础信息

名称：锗烷（四氢化锗）外观：无色压缩气体，带有刺激性臭味用途：半导体 CVD、硅锗薄膜沉积、光伏材料制备

2 危险性概述

警示词：危险GHS 分类

• 易燃气体 1A；压缩高压气体

• 吸入急性毒性 2 类危险说明H220 极易燃气体H280 内含受压气体，受热可能爆炸H330 吸入致命⚠️核心风险：气体重于空气，易沿地面扩散；与空气接触存在自燃倾向；燃烧生成有毒二氧化锗烟尘

3 理化特性

• 沸点：-88.5℃；熔点：-165℃

• 相对蒸气密度（空气 = 1）：2.65，重于空气

• 爆炸极限：0.5%～100%（体积区间极宽）

• 临界温度 35℃；微溶于水；280℃以上热分解

• 液态接触人体造成低温冻伤

4 急救措施

• 吸入：立即转移至上风新鲜空气，保持静卧；呼吸困难供氧，立刻送医，重点监护血液与呼吸系统损伤

• 液态皮肤 / 眼接触：大量冷水冲洗，禁止揉搓冻伤部位，及时就医

• 气态无明显腐蚀，但剧毒，严禁反复接触

5 消防措施

• 危险：极易燃烧、远距离回火；气瓶受热超压破裂；燃烧产生有毒锗氧化物烟雾

• 灭火剂：干粉、二氧化碳；禁止直喷水冲击气瓶

• 处置原则：优先切断气源；无法断气不要熄灭火焰；上风远距离操作，佩戴 SCBA，持续冷却钢瓶

6 泄漏应急处理

1. 大范围疏散警戒，清除所有火源、静电，禁用非防爆电气

2. 防护：正压式 SCBA + 气密防化服

3. 强制通风，封堵地沟、地下室，防止气体低洼积聚

4. 切断气源堵漏；尾气采用专用吸收装置处理，严禁直接放空

7 操作与储存

操作

全密闭高纯管路、防爆通风；设备可靠接地；设置锗烷专用气体报警器；双人作业、持证上岗；管路避免油污、杂质。

储存

剧毒专用库房，阴凉通风（≤30℃）；钢瓶直立固定；双人双锁管理；远离热源火种；严禁与氧化剂、卤素、酸类混存；空瓶与满瓶分区摆放。

8 个体防护

呼吸：任何泄漏、密闭工况必须使用正压式 SCBA；眼部：全面罩；身体：耐低温耐酸碱气密防护服、防冻耐油手套、防化靴。

9 稳定性与反应禁忌

常温纯品稳定；禁配物：空气、氧气、卤素、强氧化剂、酸、醇类；可发生剧烈放热反应，引发自燃爆炸。

10 毒理简述

高毒；吸入损伤造血系统、呼吸道；低浓度慢性损害；急性中毒出现肺水肿、脏器损伤；TLV-TWA：0.2 ppm。

11 运输信息

UN2192 锗烷危险类别：2.3 有毒气体，次要危险性 2.1 易燃气体运输要求：专用耐压钢瓶，防晒防撞击；严禁客运飞机运载；禁止与氧化剂、氧气、卤素混运；执行剧毒危化品专项运输管控。

12 废弃处置

严禁直接排放；通入专用燃烧 + 吸收系统处理；空钢瓶由供气厂商回收，禁止私自拆解、焊接。